特种气体种类:广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体,是重要原材料之一, 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种气体的重要性:在半导体工艺中,从芯片生长到后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离 不开电子特气,因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤,其中气体的纯化、混配等是气体公司的核心竞争力。
特种气体指半导体生产环节中,比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,也就是气体类别中的电子气体,特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀,稳定性良好和量值准确的气体,它可以是单一的纯气体或高纯气体,也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一,故又称为气体标准物质。特种气体分类:从应用领域划分,特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。
特种气体分类:从应用领域划分,特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体分类:电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体,目前,我国电子气体品种基本齐全,但数量和质量与 发达国家相比,尚有较大差距;特种气体的储存注意事项:为防止高压容器跌倒、滚落、损坏、阀门泄漏等造成安全隐患,存放场地需平坦,操作需谨慎、轻柔;并用链条、绳索等将其固定在靠墙等坚固位置。
20 世纪 80 年代,电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高,随着气体供应商供气模式的引入,国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司,国内特种气体市 场逐步发展起来。特种气体种类:广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体,是重要原材料之一, 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种气体种类:电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。
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