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涡旋真空泵的结构特点

涡旋真空泵主要由5 个部件组成：

（1）动静涡旋盘副与基座；一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错, 两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。

（2）曲轴：保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。

（3）密封件：保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。

（4） 防自转机构：保证动、静盘180°相位差的机构。

（5）电机：输出约1500r/min的动力机构。

它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低。采用空气冷却，无需水冷。

涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:

品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。

科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。

电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。

航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。

冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体

涡旋真空泵组成与工作原理

无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。

主要用途

真空镀膜机，分析测试仪器，真空排气/回收装置，真空炉，排气台，高能束线，等离子清洗，检漏仪，真空包装机，真空吸附搬运。