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靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节，靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。

其中，溅射镀膜的品质对下游产品的质量具有重要影响。在溅射镀膜过程中，溅射靶材需要安装在机台中完成溅射反应。

目前，薄膜材料的制备技术主要包括物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术。

阴极电弧是PVD涂层技术领域中功能较多的沉积方式之一。选用电弧蒸发使大面积固态靶材高度蒸发离化，在可控的方式下与通入的反应气体结合，沉积成氮化钛TiN、碳氮化钛TiCN、氮铝化钛AlTiN、氮化铬CrN等不同的膜层。PVD涂层技术工艺用于大量五金、塑料、压铸模具,刀工具和精密部件的涂层。

PVD涂层的表面就是一层很薄的(1～10µm)金属陶瓷涂层，它具体是提升表面层强度，提高表面层耐磨性能，主要是针对平行的摩擦，因此基体的强度是十分关键的。冲压模具对气温规定是55℃以上，塑胶模具对温度的规定为30℃以上。假如冲压模具的强度达不到HRc60以上，基体就仿佛“豆腐”一样，马上会造成塑性变型。为此，不会由于运用了涂层，就会减少了基体的强度。

随着技术的发展，PVD技术也不断推陈出新，出现了很多针对某几种用途的专门技术

电子束蒸镀技术

电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀的优势在于：可以为待蒸发的物质提供更高的热量，因此蒸镀的速率也更快；电子束定位准确，可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷，对能量的利用率不高；而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离，也有可能带来污染。此外，大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解，这影响了薄膜的成分和结构。

市面上有许多那些看起来金光闪闪的，但是价位比起印象中的手表又低了许多的手表，那么这种表究竟是使用了什么材质呢？其实常看到这种价格好入手的金色泽感手表，有不少都是采用PVD工艺所制成，这种表壳加工工艺的好处显而易见，既能让手表看起来非常华丽高雅，但是也能顾及到消费者的钱包，不用动不动就上五、六位数的售价，因此具有经过PVD处理表壳的手表，长久以来在市场上也是有着很高的人气基础。

“金属表面镀层处理”其实就是我们一般俗称的“镀金”或是“电镀”技术。为了让相对廉价的一般金属拥有如金属般的价值与光泽，或是为了保护其不易腐蚀损坏，中国在战国时代就已经发明了称为“鎏金”的镀金技术，利用化学的方式让铜器或是银器上面镀上一层薄薄的黄金镀层，而这是早有记录的金属表面镀层处理。