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什么是高纯氩气

高纯氩气是无色、无味、无臭、无毒的惰性气体，化学性质极不活泼。在21.1摄氏度和101.3kPa下气体相对密度1.38。气体密度1-650kg.m-3(21.1摄氏度，101.3kPa)，液体密度1394.Okg．m-3(一185.9摄氏度，101.3kPa)。沸点-185.9摄氏度。熔点-189.2摄氏度。临界温度-122.3摄氏度，临界压力4.893MPa。溶于有机化合物。

高纯氩气的含义

高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气可用作色谱载气，也可用作大规模集成电路中混合气体的稀释气。

在金属冶炼方面，氧、氩吹炼是生产优好钢的重要措施，每炼1t钢的亚气消耗量为1～3立方米。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用亚作保护气。

高纯氩气急救和消防措施

高纯氩气急救措施

皮肤接触：与液体高纯氩气接触可形成在低温所致体表局部损伤。用清水冲洗伤处并就医。

眼睛接触：液体高纯氩气溅入眼睛，可能引起发炎的症状。打开眼睑，用水冲洗，寻求就医的疗治建议。

高纯亚消防措施

危险特性：高纯氩气本身不会燃烧，但当装有氩气的容器和设备遇到明火的高温时，容器内的压力会急剧上升而发生炸裂，应该用水在火中冷却容器。有害燃烧物：无。

灭火方法及灭火剂：在火灾中用水冷却高纯亚容器，并使用适合火灾环境的灭火剂，切断高纯氩气源，迅速疏散污染区域，处理泄漏事故的人员佩戴自给正压呼吸器，处理液氩气应配备防冻保护设备，如果钢瓶泄漏不能停止，移动钢瓶到一个开放和安全的地方并清空它。

制取高纯氩的方法

1，深冷分馏法，该法设备大而且复杂， 只适用于空分制气，不适用于终端净化，例如中国权利;

2，合金吸气法使用锆铝合金作杂质吸收剂，英国Sircal Instruments Ltd.生产的'MP-2000RARE GAS PURIFIER' 使用金属钛作杂质吸收剂。该法由于吸附容量小，吸收剂贵，只适用于5N级的氩气作原料的深度净化；

3，催化脱氧分子筛脱水作初级净化，再用合金吸气剂作深 度净化，但由于脱氧剂的脱氧容量低，只适用于4N 级氩气作原料制取6N级高纯氩，并且再生需要使用氩气和抽真空很不方便。