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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

洁净车间地面装饰资料的焚烧功能应契合现行标准《修建内部装饰规划防火规范》GB50354的规则:甲、乙类洁净车间其洁净出产区应运用A型级别资料，同时应满足防火、防静电的特殊要求。丙、丁类洁净车间应运用不低于B2级的资料。技能竖井的壁面必须是非焚烧体，其耐火极限不行少于1小时。井壁上检查门的耐火极限不行少于0.6小时；竖井内涵各层或相隔一层楼板处,应运用等同于楼板耐火极限的非焚烧体做水平防火分隔，穿过水平防火分隔的电缆电线其周围缝隙，应运用非焚烧资料堵塞填充。

关于洁净室等动力采样的问题：所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，并且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。由于对净化工程的检测咱们主要关心两种粒径，即0.5um和5um。非等动力采样关于≤0.5um的粒子影响不大。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。

我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初，在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快，相继建成一批洁净厂房，并研制成功100级单向流洁净室;与此同时，洁净厂房用设备和资料，如过滤器，洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功，并投入出产，虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距，但已能满足国内部分需求，到20世纪70年代末我国洁净室规划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。