乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
在进行洁净室净化工程的平面布局时有必要契合国家的现行标准中有关安全出产、消防、环保和工作卫生方面的各种要求;在进行洁净室净化工程平面布局时应充分考虑、物流的安排.极力做到短捷、流畅。在空间规划时应分考虑产品出产过程和洁净室净化工程装饰内各种管线、物流运送的合理安排。在确定洁净厂房的平面、空间安置后,对洁净室净化工程规划涉及的各个提出规划内容、技能要求及规划中应留意的相关问题。
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