使用气体质量流量控制器注意事项
1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置;
2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置,假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回;
3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;,并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性,还要使用惰性气体对管路进行吹扫,然后再通腐蚀性气体,等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路,保证管路中不会残存腐蚀性气体。
4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。
5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热,保证MFC在不通气时,瞬时流量处于0的位置,如果不通气时,瞬时流量显示有一定的数值,表示传感器出现“零漂”现象,可以先对MFC进行调零处理,否则将影响MFC的精度。
如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?
可以使用惰性气体接到MFC进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。
气体质量流量控制器工作原理
气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道,其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构,可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经由放大后输出,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了MFC的功能。
通讯方式的热式气体质量流量控制器
在直径较细的感应管中放置两对加热器,并将其控制在同一温度。当流体流动时,气体将上游的部分热量带给下游,而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时,利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理,来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,与流过气体的质量流量成正比,它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
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