数字质量控制器厂家来电垂询 晓韬科技公司堀北真希和山下智久

气体质量流量控制器流速和流量之间的关系

流量通常分为体积流量、质量流量和重量流量三种：

体积流量的公式为Q=VS，Q代表气体的体积流量（m/s），V代表气体的平均流速（m/s），S代表气路管道的横截面积（㎡）。

质量流量则是M=ρQ=ρVS，M代表气体的质量流量（kg/s），ρ代表气体的密度（kg/m），Q代表气体的体积流量（m/s）。

重量流量则是G=γQ=ρgVS=gM，G代表气体的重量流量（kgf/s），γ代表气体的介质重度（N/㎡），M代表气体的质量流量（kg/s）。

气体质量流量控制器工作原理

气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道，其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构，可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经由放大后输出，就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC的功能。

通讯方式的热式气体质量流量控制器

在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将其控制在同一温度。当流体流动时，气体将上游的部分热量带给下游，而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时，利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理，来测定流量。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。