真空箱式氦检漏系统【工作环境】
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真空箱式氦检漏系统【工作环境】
工作环境:
1、长×宽×高(设备占地面积约):依据实物实际面积为准。
2、电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约22KW;
3、压缩气源及减压器:0.6~0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气;
4、待检工件要求清洁、干燥。
5、环境温度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
6、相对湿度: ≤80%;
7、氦气源及减压器:氦气纯度为 99%。
8、设备应安装在通风良好的厂房内。
真空箱式氦检漏系统
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机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,保证了良好的本底和ji少的藏气,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元,氦质谱检漏仪采用进口产品,自动校准漏孔。技术成熟,性能稳定,安装维护方便,使其和真空箱连接更加协调紧密。
氦质谱检漏仪
充氦法
的整体检漏就是可以用这种方法,将放入大型环模室中,利用环模设备的真空系统将环模抽成真空,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后,将氦气充入中,压力保持和工作的压力一致,开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量的漏率了。质谱室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和机械泵之间,利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点,氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。
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