真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作:
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测;
2、插上检漏仪电源,关闭上部手动挡板阀,开启检漏仪总电源,此时,“放气”灯亮起,等待系统运行;
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时,观察预置参数,应为10-15,一般取15,观察数值,应为10的-8至-9次方时,可以开始氦气检漏(等待几分钟);
4、按“检漏”键,缓慢开启顶部手动挡板阀,注意:检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏;
5、数值稳定后,先记录下来,这就是“本底”;
6、逐个将氦气充入焊缝,并封堵插入口,将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟,看数值有无大的变动。
7、关机时,应先关闭上部手动挡板阀,然后开启放气键,关电源。
氢气的应用场合
氢气,化学式为H₂,分子量为2.01588,常温常压下,是一种极烧的气体。
氢气是世界上已知的密度小的气体,氢气的密度只有空气的1/14,即在1标准大气压和0℃,氢气的密度为0.089g/L。工业上一般从或水煤气制氢气,而不采用高耗能的电解水的方法。
氢气一般出现在1.做还原气:金属加工。2.做保护气:金属加工。3.做燃料气:电子行业、玻璃行业。4.做冷却介质:电厂。5.做为化工介质:油脂加氢。6.做燃料用:液氢、航天、航海等。7.焊接行业。8.医院。
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