光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于地位。
无尘室检测前应对工艺设备跟清洁室内部进行仔细清洁,以免影响测验数据;检测清洁度等级时,检测人员坚持人数,有必要穿清洁工作服,测微生物浓度时有必要穿无菌服、戴口罩,测定人员应坐落仪器、仪表下风侧,尽量削减走动跟起伏;清洁室考试前,应对所测环境做全部清洁,但不得使用个别吸尘机吸尘,擦洗人员应穿清洁工作服,荡涤剂可根据场合选用纯化水、、中性洗涤剂或自来水;考试名字首先应测风速、风量、静压,后捡漏,再测清洁度,在其余名字测完并实现名义消毒后,测定细菌浓度,测定细菌前不得进行空气消毒,然后测定选定名字。
洁净室净化工程检测仪器的选用:虽然对净化车间内的洁净度的丈量,可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结的核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但现在用得多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应丈量,并且可以直接显现瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行丈量,使用简单、方便、及时、灵敏。
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