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气体质量流量控制器的原理是什么？

质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。

选择气体质量流量控制器和订货时应当注意什么？

(1) 注意选择正确的品牌

一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。

(2) 注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。质量流量控制器（MFC）除耐压之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。

(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。

除了气体种类，流量范围外准确度和接头形式也很重要，常见的接头形式有卡套接头和VCR接头，接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10；英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。

气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。