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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。2S检漏口：300Pa极限真空：5×10-4Pa外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

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几种检漏方法和检漏仪的比较发布

1.水检法

这是zui简单的、原始的检漏方法，自行车胎就是采用此种方法。它是将被检工作充上大于大气压的空气。1.0-3.0Mpa)放人水中是否有气泡从工件中冒出来，冒泡的位置就是泄露的位置，而根据冒泡的速率,泡的速率,泡的大小，大约可估漏率。

2.卤素法

先前一般的制冷器都采用卤化物为冷媒，当灌注冷媒封口以后，用卤素检漏仪的探头在司疑之外寻找漏点，发现漏点就会声光报警，漏点和漏率也就相对确定了。

3．压力哀减法(压差法)

就是将被检工作，利用压缩机或压缩空气(一般1-3Mpa)连接进一个压力表，待充上气后，密封(确保封头不漏)，观察压力表24小时内压力降情况，如有漏则压力降低，但不能判断什么地方漏，漏多少。

当然还有许多其它方法，这些方法灵敏度一般达不到或只能勉强达到标准，或者说，只能检大漏,有的不能检出漏在哪里，漏多少等弊端。空调两器真空氦检漏仪器厂家

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氦气检漏设备主要技术指标

实际使用氦气检漏设备时，其较小可检出泄漏率为5×10-13Pa·m3 / s； 泄漏率显示的范围为1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内；结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力：1000Pa； 电源需要220v，50Hz，单相，10A。

使用氦气检漏设备时，请注意其机械泵的抽速为4L / S；自动化程度：人工连接工件后，启动设备后，各工位自动判别、自动检测。 工作环境要求为5-40℃； 应注意相对湿度必须小于或等于80％; 尺寸：600（W）×550（D）×1000（H）; 通常重量将保持在65kg。 关于氦气检漏设备，应注意其配备了标准氦气检漏装置，包括更详细的校准报告。

氦质谱检漏仪

充氦法

的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，利用环模设备的真空系统将环模抽成真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后，将氦气充入中，压力保持和工作的压力一致，开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，就可以直接测量的漏率了。5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收,对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

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