CVD系统管式炉

 

　　OYS-1200C-Ⅲ——翻盖炉

　　一款三温区开启式管式炉，其最高温度可以达到1200℃（1200℃<1H）。炉管为高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可以在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置30段升降温程序，控温精度±1℃。

　　技术资料

　　产品型号翻盖炉OYS-1200C-Ⅲ（φ50、φ60、φ80、φ100

　　主要产品参数电源：220V 50/60Hz

　　额定功率：7.1 KW

　　最高工作温度：1200℃（＜0.5 h）

　　连续工作温度：1100℃

　　推荐升温速率：≤10℃/min

　　加热区长度：加热区长度：900mm

　　热电偶：K型

　　外形尺寸：1675mm*645mm*865mm

　　炉体结构&温控炉体结构&温控：采用双层壳体结构，并带有风冷系统；炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维作为材料，减少能量损失；内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命；三个温区分别有三个独立的温控系统控制；包含一款YD858型温度控制器；PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能；控温精度±1℃；默认DB9PC通信连接端口；可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

　　加热元件铁铬铝合金丝0Cr21Al6Nb

　　炉管尺寸石英管口径可选φ50、φ60、φ80、φ100

　　真空密封标配：一对不锈钢密真空法兰和高温硅胶密封圈；

　　选配：为了更快的获得较高的真空度，建议使用KF25的不锈钢法兰、不锈钢波纹管和数字式真空显示计；

　　法兰接口为了得到较好的真空状态出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接；多种接头可选，具体请咨询我公司销售经理；

　　真空度采用双旋片式机械真空泵真空度可以达到10-2torr；如您想获得更高的真空度（＜10-5torr or better）可选国产或进口高真空机组；

　　可选本公司还可以提供防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8*105至1125torr，不需因测量气体种类不同而需要转换系数

　　认证标准及核心零部件CE、UL等认证，核心零部件有ABB、欧米茄、东明等采用ABB电器元件；

　　售后质保期一年，终身维护；24小时在线服务

　　注意事项炉管内气压不得高于0.02MPA；由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

　　对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生(如炉管破裂，法兰飞出等)；气体的流量应限制在<200 SCCM(或200ml/min)

　　免责声明本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺，我司会不定期完善产品，恕不另行通知，请您见谅。

　　浮子流量控制系统GYS-4F

　　GYS-4F是一款三通道混气系统（1单独3混气），用于情性气体的控制，可用于管式炉、手套箱、等离子清洗机、CVD系统、小型PECVD系统等

　　技术资料

　　产品型号供气系统GYS-4F

　　产品特点适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。

　　尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

　　气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

　　显示流量准确，可有效控制气体的消耗量

　　设备底部有滚动轮，方便移动使用方便，无需通电

　　产品参数浮子流量计量程:10-100mL/min、16-160mL/min、25-250mL/min；25-250mL/min;

　　精度:4%

　　压力表量程:-0.1-0.15MPa

　　通气管道:φ6.35mm的聚四氟管

　　选配：浮子流量计量程可选配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。

　　混气罐内置一个不锈钢混气罐，可更好的混合气体

　　混气罐尺寸:直径76*长154mm

　　气口/阀门背面的进气与出气口均为φ6.35的卡套接头，进气口通过四氟管连接气瓶，出气口通过四氟管连接到设备的进气口

　　两个通道气体进入混气罐混气，一个气体通道独立

　　前面板的四个不锈钢针阀控制气体的进出，独立通道的进出气不受针阀控制。

　　产品尺寸外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

　　重量：约30Kg

　　售后质保期一年，终身维护；24小时在线服务

　　免责声明本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺，我司会不定期完善产品，恕不另行通知，请您见谅

　　真空系统JXB-12参数表

　　JXB-12是一套低真空机组，其极限真空度为10-3torr。内部安装有双旋机械泵TRP-12配套使用，其接口为KF25接含有电阻真空计DGR-52和连接管道接头等。

　　技术资料

　　产品型号真空系统JXB-12

　　产品特点610*610mm的承重台面，可配合微元素管式炉使用，节约空间。

　　极限真空度可达到10-3torr，满足大多数真空实验要求。

　　滚轮上装有制动装置，提高安全性。

　　产品参数电源:AC220V 50/60HZ

　　功率:1KW

　　抽气速率:3L/S

　　极限真空度:1.0*10-1Pa

　　电阻真空计电源:AC220v 50HZ

　　功率:≤6W

　　测量范围:1.0*10-1Pa~1.0*105Pa

　　有效范围:1.0*100Pa~1.0*104Pa

　　测量环境:非腐蚀性密封容器

　　测量精度:＜±30%

　　显示方式:LCD数显

　　高真空手动挡板阀高真空专用不锈钢阀门，采用氟胶圈密封,KF25卡箍连接

　　连接口:两个KF25接口。

　　漏率达5*10-9Pam3/s。

　　产品尺寸外形尺寸:长610mm*宽610mm*高710mm

　　重量：约50Kg

　　认证标准及核心零部件CE、UL等认证，核心零部件有ABB、欧米茄、东明等

　　售后质保期一年，终身维护；24小时在线服务

　　免责声明本产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息，请与我司销售人员联系。本信息不构成任何要约或承诺，我司会不定期完善产品，恕不另行通知，请您见谅

　　真空连接配件：（选购）

　　KF25卡箍

　　KF25盲板

　　KF16卡箍

　　KF16盲板

　　不锈钢波纹管KF25口

　　手动真空挡板阀KF25口

　　电阻真空计：测量范围：1.0x105pa——1.0x10-1pa

　　INFICON皮拉尼电容膜片真空计：测量范围：3.8x10-5-1125Torr

http://www.hfxyskjzb.com/Products-38467375.html

https://www.chem17.com/st622200/product_38467375.html

 

原文链接：http://www.sjgfc.com/hangqing/show-22302.html，转载和复制请保留此链接。
以上就是关于CVD系统管式炉全部的内容，关注我们，带您了解更多相关内容。