由单质氟与硫直接化合而得。反应也会生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通过加热使其歧化后，再用氢i氧化钠处理除去剩余的四氟i化硫而纯化。
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如:断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。冷冻工业作为制冷剂，制冷范围可在-45℃~0℃之间。电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。
采i矿工业用作反吸附剂，用于矿井煤尘中置换氧。高纯SF6还因其化学惰性、无毒、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼(如镁合金熔化炉保护气体)、航空航天、医i疗(Xi光机、激光机)、气象(示踪分析)、化工(高i级汽车轮胎、新型灭火器)等。随着当今科技的发展，SF6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用。
关于六氟化硫气体的电性能，我们将分别讨论它在常温下的电气绝缘性能和高温下的灭弧性能。
在均匀电场中，工频电压的作用下，六氟化硫气体、油和氮气相比，六氟化硫气体的介质强度大约是氮气的五倍，而且当压力大于8个大气压时，其介质强度就能够超过变压器油。
六氟化硫气体的击穿电压除了与压力有关以外，还与电极表面的光洁度和洁净度有关;电极表面越洁净、越光洁，其击穿电压就越高。
在同一压力下，六氟化硫气体的击穿电压随着触头开距的增大而增大，但不是一个线性的关系，而是有一点饱和的意思，而且压力越大饱和越严重;所以我们在实践中不能单靠增大触头开距来加强绝缘。
此外，六氟化硫气体的击穿电压还与电极的几何形状和触头面积有关;如果电极形状使得电场越均匀，其击穿电压就越高，这在这里要注意，和真空开关不同，电极材料对六氟化硫气体的击穿电压没有比较明显的影响。