亚临界流体萃取是在密闭无氧的条件下进行的，操作简单方便。亚临界萃取所使用的溶剂在常温常压下为气体，加压后为液态。该工艺的基本原理是：在常温和适当压力下（0.3MPa—0.8MPa）,用亚临界流体逆流浸出油料料胚或颗粒（如葡萄籽、亚麻籽、核桃仁、小麦胚芽、牡丹籽、南瓜子、月见草籽等），然后使混合油和粕中的溶剂减压气化，气化后的溶剂气体再经过压缩机压缩冷凝液化后循环使用。夹带剂的选择：对于极性较大的溶质，在超临界CO2中溶解较差，SFE很难萃取出来，但若加入一定的夹带剂，以改变溶剂的活性，在一定条件下，就可以萃取出来，而且萃取条件会更低，萃取率更高。脱溶过程中因溶剂气化所需吸收的热量一部分来自系统本身，另一部分由供热系统供给。
低温萃取工艺
低温萃取是由结合剪力与振动力效应之低温萃取技术、复合式微波萃取技术和超临界二氧化碳萃取分离技术三项技术所整合而成。该技术可根据原物料之特性与产品需求进行组合调整，具有确保成分活性等优点，适用范围相当广泛，操作温度低于60℃，可确保物中成分的活性，不使用有害人体之溶剂，以经济的方式进行萃取分离，可充分保留其成分与香气，设备易于进行放大，可运用于业界生产，可广泛使用于生医、食品、美容保养品等产业，在强调健康现代生活，该技术具有重要性与前瞻性。植物精油的成份多为脂溶性化合物，以丁烷、丙烷对鲜湿的花朵、茎叶进行亚临界萃取，可得到浸膏产品，目前已进行工业化批量生产的有玫瑰、十香菜等，茶叶、姜、茴香、大蒜等的精油提取都已进行了很多研究试验，具备了工业化生产的条件。
在功能性和药用植物提取生产中的应用：以液氨为溶剂亚临界萃取脱脂豆粕，可以一步法生产浓缩蛋白，克服了醇法生产的蛋白变性和酒精能耗高的问题。以丁烷混合溶剂，在不破坏烟叶形状的前提下，部分提取烟叶中的和焦油基料，实现行业的减害降焦要求。
低温萃取技术与一般液体萃取技术相比，萃取速率和范围更为理想。萃取过程是通过温度和压力的调节来控制与溶质的亲和性而实现分离的。溶剂主要应用液化丁烷和丙烷。小麦胚芽油的不饱和脂肪酸含量高达80%以上，富含多种生理活性物质，同时小麦胚芽脱脂后蛋白含量高达33%，因此在加工过程中，要在低温情况下进行，否则将会对油中的活性成分及蛋白中的活性成分造成破坏，降低油的功效及影响蛋白的使用价值。该溶剂中组分的沸点大多在0℃以下，其中丙烷沸点-42.07℃丙烷，丁烷的沸点为-0.5℃，在常温常压下为气体，加压后为液态。