超声波热解概述
超声波喷雾热解结合了用于将前体溶液分散成液滴的超声波以及在升高的温度下对液滴内的溶解材料进行化学分解，从而形成细粉。在超声波喷雾热解反应器中，溶剂首先从液滴中蒸发，在下一个阶段，干液滴内的剩余溶剂通过热解进行化学分解，并且通过烧结过程获得细颗粒。超声波喷雾热解方法的优点是可以简单地设置各个工艺段并改变它们的配置，连续的纳米材料合成，以及从各种原材料合成纳米粒子的可能性。
中试级喷雾热解系统特点
中试级超声喷雾热解系统的特点：
纳米气溶胶发生器：多组大流量纳米气溶胶发生装置并联，提供强大的前驱体雾化输送能力。数字兆声波控制器：驱动及控制纳米气溶胶发生器阵列。大型高温管式炉，多管并联，提供更长更大的恒温区。自动超细粉体收集系统，可有效收集大量纳米级亚微米级粉体颗粒。精密调压阀实现载气流量准确调节。精密气体流量计，实时监测载气流量。真空泵及压缩气泵：可提供空气气源及气氛保护两种方式。自动供液系统：不间断输送前驱体溶液。
超声波热解
超声波喷雾热解设备，溶液的分配速率和喷头移动速度等参数由软件界面准确控制。由步进电机控制的容积泵用于根据需要分配溶液。超声波喷头提供薄膜涂层，其运动由步进电机驱动的 X 和 Y 方向线性平台控制，以确保涂层均匀。可以通过改变喷嘴处的压缩空气压力来调整喷雾模式和速度。基板加热板的温度通过专门用控制器独立控制。
超细粉体的制备
目前，工业中用得较多的是通过粉碎法，应用较多的粉体是通过粉碎法、化学法产生的微米级和亚微米级粉体，纳米粉体的生产及使用量相对较少。
工业上对超细粉体制备方法提出了一系列严格要求，归纳起来有以下几点方法
(1)产品粒度细，而且产品的粒度分布范围要窄
(2) 产品纯度高，无污染;
(3)能耗低，产量高，产出率高，生产成本低
(4)工艺简单连续，自动化程度高
(5)生产安全及可靠。