采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。近年来在小型马达、汽车电子,工具、扬声器、电力工具等方面应用发展很快。但钕铁硼稀土磁性材料弱点是容易被空气中的水分及氧气所腐蚀,因此必须有一个的防护涂层钕铁硼稀土磁性材料才有使用价值。
Parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度,同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。Parylene如此高的介电强度主要归功于Parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。