对比试样校准测量前的准备
1. 对比试样的人工缺陷应使用酒精或C₃H₆O进行清洗，用滤纸擦干，保持表面清洁，无锈蚀、金属屑、毛刺、污染物等影响测量的缺陷。
2. 将对比试样人工缺陷平行放置在载物台上(必要时使用合适的工装予以固定)，调整试样，使人工槽长度或宽度方向与显微测量设备的X或Y轴平行。
3. 显微镜在合适的明场条件下，先用低放大倍数（10×或20×）找到人工缺陷位置，再换至高放大倍数对试样聚焦，调整载物台及试样，使人工缺陷处于视场中央。调整测量设备，使测量面聚焦清晰，选择测量点位。
对比试样校准对人体有没有伤害?
如果是超声波测厚仪的话，从原理来说，超声波没有辐射，它是一种振动机械波。但是人长期受到超声的影响，会引起人体组织轻微的发热;当频率更高时，发热就会越发厉害，使人体内水分子被烧，周围的组织遭到破坏，长时间如此就有危险。因此大功率高强度的超声波持续作用于人体是有害的。如果是源测厚仪，0.5米就很危险了。而且值得一提的是，受辐射程度除和距离、受照射时间有关外，和源的密封情况也有关系，密封不好受辐射程度就严重一些。所以在使用测厚仪工作时，要采取适当的保护措施防止电磁辐射的污染。
对比试样校准声速调节
超声波测厚仪的声速变了，测量值就会变。例，在调节声速时，按一下“ENTER”键则声速快速地调整为5900M/S。在菜单中选择“声速”或“声速调整”，按住“CAL”或“校准”键两秒左右，声速就快速地调整为5900M/S，再按“ENTER”或“确认”键，就返回到测量状态。如果测量还存在误差，测量仪器上的标准试块，液晶应该显示“4.0”或“4.00mm”，若是其数字，则在一边测量试块一边按住“CAL”或“校准”键2秒左右，直到数字变成“4.0”或“4.00mm”，即完成了对仪器的校准，就可以准确无误地进行测量了。