氦气
氦气的化学性质相对来说比较稳定。不易发生反应、等,操作过程安全。在一些比较值钱的设备:例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用氦气检漏。氦气稳定。当然也可用氢气检漏,但是氢气,容易引发事故,用氢气检测严禁吸烟,远离烟火。但用氦气检漏成本较贵,单瓶1000元左右。以上就是关于氦质谱检漏设备的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的热线电话。
氦气穿透能力强,且易,对漏点有很好的检出能力,可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部,氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞,灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。
半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
氦检漏设备
负压法
负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行氦气检漏时,氦被连接到充满氦气的瓶子中,并且使用喷将氦喷射到泄漏部分。如果氦气从泄漏孔流入压力容器装置,装置中氦气的分压将上升,泄漏率将显示在氦气检漏设备上。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率,将被视为不合格。04Mpa,对被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测,通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。
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氦质谱检漏仪热管检漏
热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能,如果热管本身存在漏点,首先会影响热管的导热性能;其次由于热管都是安装在设备内部,如果发生泄漏,里面封装的液体就会流出,严重污染和影响设备的正常运转,所以热管生产企业,都会采用氦质谱检漏仪对热管进行检漏。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收,以免延期因保管出现的产品质量问题。
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