准分子气体的运输紧急措施：气体泄漏时。 灭火困难或制止不住有毒气体泄漏时，要通知消防队，地区防灾事业所、工厂，销售店。准分子气体的运输紧急措施：有气体泄漏时，要确定泄漏处并制止泄漏。处理有毒气体时，一定要戴面罩、手套等防护用具。准分子气体的运输：(1)不要超过车辆的装载量。 ·(2)充填压缩气体的容器等，原则上要横装。
准分子气体的保存：严禁将其与可燃气体与助燃气体堆放在一起，也不要沾油腊、爆晒、以及重抛和撞击，气瓶的瓶身上也不能进行引弧或电弧，装卸时要动作轻缓。准分子气体进样时需注意不泄露。大家都知道气体具有逃逸性，所以，准分子气体在进样的时候一定要注意先检查好容器和管线的气密性，确保进样的全程都不会发生泄露，以免降低气体的浓度而对样品数据的准确性造成不良影响。准分子气体进样时需要注意：管材的合理选择。准分子气体在进样的时候需要使用管线，但是每种其他的性质特点不同，所以要注意根据根据不同的气体性质来选择管线的材质。
液态气体为淡蓝色液体。密度约0.9。沸点－192℃（101.3千帕，760毫米柱）。可用钢筒贮存和运输。广泛用作氧气的来源。将空气压缩，并冷却至低温，再使之膨胀而得。作用在准分子激光设备上激发激光的预混气体主要是氟气和氩气，以氖气为平衡气。采用别纯度的原料气体，采用自动化气体预混系统配制，有效降低人为因素影响。
准分子激光气注意事项：应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。准分子激光气注意事项：瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，准分子激光属于冷激光，无热效应，是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光，光子能量波长范围为157－353纳米，寿命为几十毫微秒，属于紫外光。