1、漏电问题：真空泵机组没入水中，所以漏电问题是导致烧坏的重要因素之一。
2、电缆线破损、折断：电缆线破损、折断不仅容易造成触电事故，而且真空机组运行期间可能处于两相工作状态，既不进水也不易损坏电机。
3、电源电压过低或频率过低。
4、堵转：堵转时定子绕组上将产生5～7倍于正常满载电流的堵转电流。如果真空机组没有保护措施，很快就会烧坏。造成转子卡死的原因原因很多，如叶轮卡死、机械密封碎片卡在轴上、污垢缠绕等。
5、磨损和腐蚀：磨损会大大降低真空机组的性能、流量、扬程和效率，并且叶轮和泵盖会生锈并导致转子锁定。
真空机组停止启动前，假设其泵内有污物，我们可以暂时打开其排水管道，停止污水冲洗。然后，关于泵机组的轴承，我们只需要注入润滑油，然后我们需要检查冷却水管，以确认密封水管是否畅通。如果水管里有污垢，我们实际上需要直接停止冲洗。
就其真空机组的启动而言，我们实际上应该注意的是，在停止启动之前，我们应该用手转动其泵叶轮几周。这样，可以确认其泵没有堵塞或其他损坏，然后才能停止启动。在我们停止启动之前，我们还应该根据其泵上旋转箭头的方向来确定其电机的旋转方向。
因为种种真空泵机组的功能除均能餍足对容器停止抽真空的配合点之外，尚具有差别之处。因而在选用时需明白泵在真空体系中所承当的事情使命是非常紧张的，泵在种种差别事情范畴中所起的感化归结起来重要有如下几个方面。
1、在体系中做主泵
所谓主泵便是对真空体系被抽容器间接停止抽真空，以取得餍足工艺请求所需真空度的真空泵机组。
2、粗抽泵
粗抽泵是指从大气压开端低落真空体系压强到达另一抽气体系能够开端事情的泵机组。