特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危险性，应确保安全性的特气。公司提供从供气系统；排气处理、监视系统的综合管理系统；建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。给水或其他液体管道在i高点设有排气装置，排除积存在管道内的空气或其他气体，以防止气阻造成运行失常。
特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。当气体的流量已知时，管径的大小取决于允许的流速或允许的摩擦阻力(压力降)。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案；逐步成为行业领i先的整体系统供应商。
气路系统百科知识
一、气瓶间。
1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。
2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;
3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;
4、还应设立泄露报警系统。
二、色谱室。
1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;
2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;
3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;
4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;
5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;
6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。
实验室气体管道工程
实验室供气系统气体管路
气体管路指气瓶至仪器终端之间连接管线，一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成，输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高质量的、完全退火、无缝不锈钢SS-316L。所有氧气管路都需完全清理干净，使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。
实验供气系统易i燃易i爆气体使用安全注意事项
1.易i燃易i爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆i炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆i炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室
内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：
①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。
②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的较低处。
③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
④为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，在排入大气的排气管道上，为防止排气时突遇雷电袭i击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆i炸事故，必须在排气管道上设置阻火器。
⑤可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。
⑥各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体质量。